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?我國高端電子化學品關鍵技術取得重大突破

文章出處:半導體 責任編輯:上海現易電子元器件有限公司 發表時間:2020-11-10

    北京化工大學、江蘇博硯科技有限公司聯合召開國家重點研發與產業化項目推進會,我國微電子加工用高端超純化學品關鍵技術取得重大突破,并已在宜興建成年產1000噸黑色光阻示范生產線。這意味著,長期受國外壟斷的微電子材料開始走向國產化,并為我國微電子及相關產業走出依賴“困境”起到了重要的引領作用。

  微電子產業是我國國民經濟的支柱產業,也是重點發展的戰略性新興產業。但在此領域的核心技術、關鍵裝備與材料是我國產業的短板,長期受歐美、日本等國家和地區的壟斷。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說,“有資料顯示,2017年我國進口芯片花費2072億美元。從材料來說,目前國內自我供給僅占總需求的10%左右。這種被動局面繼續存在,將對我國信息安全及產業發展帶來很大的潛在風險。”

  北京化工大學理學院院長聶俊介紹,該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學品”是國家重點研發與產業化項目,自去年啟動以來,通過產學研合作,突破了微電子加工用高端電子化學品超純化處理技術瓶頸,實現微電子加工用高感度光引發劑和弱堿顯影樹脂的結構設計及超純化規模制備,并將在國內建成超純三甲基鋁(7N級)、納米色漿、光阻材料生產線、建立光阻材料的性能評價平臺,實現從原材料至最終產品的自主配套。

  北京化工大學黨委書記王芳認為,事實證明,核心技術買不來,只有靠自己,中國特色的產學研道路才能將打破壟斷、掌握核心技術做成功。微電子加工用高端超純化學品項目,能夠快速在關鍵技術上實現突破與量產,就是一個成功的范例。

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