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?ASML 2018第一季營收表現強勁,全年將完成20臺EUV

文章出處:半導體 責任編輯:上?,F易電子元器件有限公司 發表時間:2020-11-10

EUV導入晶片量產階段,訂單持續涌入
                                                                                                                     
全球半導體微影技術領導廠商艾司摩爾 (ASML) 今日公佈2018第一季財報。ASML第一季營收淨額 (net sales) 22.9億歐元,淨收入5.4億歐元,毛利率 (gross margin) 為48.7%。預估2018第二季營收淨額 (net sales) 將落在25~26億歐元之間,毛利率 (gross margin) 約為43%,反映EUV營收將大幅增加。
 
ASML總裁暨執行長溫彼得 (Peter Wennink) 表示 : 「第一季業績表現強勁,超出預期,主要來自于大量出貨,以及客戶對于深紫外光(DUV)微影系統和全方位微影方案(Holistic Litho)的需求。在EUV方面,本季我們共完成3臺EUV系統的出貨,而另1臺則正準備出貨。我們在第一季獲得9臺NXE:3400B的訂單,也確認EUV業務持續成長。近來不同客戶都公開討論將于今年底前將採用EUV進行晶片量產。因此,我們計畫在2018年完成20臺EUV系統出貨,并在2019年將 EUV出貨量拉升到30臺以上,全力協助客戶達成其量產目標?!戈P于下一代High-NA (高數值孔徑) EUV產品,我們也開始從三個主要客戶方面接到4臺訂單,并售出8個High-NA EUV系統的優先購買權 (options)?!?br/> 
High-NA 是EUV微影技術的延伸,其解析度(resolution)和微影疊對(overlay)能力比現行EUV系統提升70%,能夠實現業界未來對于幾何式晶片微縮(geometric chip scaling) 的要求。


「這是一個好的開始,我們也樂觀預期2018年ASML將在業績和獲利能力上持續穩健成長,」溫彼得說。
 
第一季產品重點摘要


深紫外光 (DUV)微影 : 我們最新的NXT機臺已經達到每天曝光6,000片晶圓的產能里程碑,支援客戶量產需求。


全方位微影方案 (Holistic Lithography) : 本季已完成採用多重電子束技術 (multiple e-beam) 的圖案缺陷量測(pattern fidelity metrology)系統 — ePfm5出貨。該系統是ASML收購漢微科后共同研發的產品,具備更高的解析度以檢測系統缺陷。這項創新的電子束量測系統和ASML的運算式微影(Computational Lithography)軟體結合,能夠在實際製造晶片的過程中,即時提供電子束的反饋給微影系統。ASML也已經證實多重電子束能夠進一步提升電子束量測的產能,應用于量產階段。


極紫外光(EUV)微影 : 吞吐量(throughput)持續提升,在一個客戶端的測試中,達到每小時曝光125片晶圓的量產里程碑,同時在ASML的實驗室中展現每小時曝光140片晶圓的實力。

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